特别是隧道势垒多为金属氧化物，IBOA附着力其在垂直磁隧道结中的厚度多小于3nm，易被腐蚀，从而影响固定层与自由层之间的电隔离；4.工艺温度的限制，如大多数金属材料的磁性超过200℃；在C之后，它会下降。这种温度限制不仅表现在相应材料刻蚀公式的温度窗口收缩，还表现在低温下形成的硬掩模材料的抗刻蚀性能普遍较低。因此，以IBE为代表的无腐蚀副作用的离子铣削工艺在磁隧道结等离子体清洗机的刻蚀中始终占有一席之地。
这种温度上的限制不仅表现在相应材料的蚀刻配方的温度窗口缩小，IBOA 不锈钢附着力还表现在低温形成的硬掩膜材料的蚀刻抗性一般较低。 因此磁隧道结等离子清洗机蚀刻中以IBE为代表的无腐蚀副作用的离子铣削工艺始终占有一席之地。其面临的问题在于蚀刻过程中被剥离的金属材料可能会重新沉积在侧壁，后续清洗工艺很难去除的情况下，器件性能会大受影响；如果沉积在隧道势垒层侧壁，会直接引起短路。
就世界范围内的市场份额而言，IBOA附着力2008年以来，单晶圆清洁设备已经超过了自动清洗机成为主要的等离子发生器，而这一年是业界引入四十五nm连接点的时候。按照ITRS的说法，2007年实现的是四十五nm工序连接点的量产。松下、英特尔、IBM、三星等。在这段时间開始批量生产加工四十五nm。2008年底，中芯国(际)获得了IBM批量生产加工四十五纳(米)工序的授(权)，成为中国首(家)向四十五nm迈进的中国半导体公司。
不要把Pa符号Pa写成pa； 2、磅力/英寸(Lbf/in, psi) 磅力符号/英寸压力单位为lbf/in，IBOA附着力psi不应写成...
